真空泵油是真空泵内部保持真空状态的重要因素，真空泵油在为真空泵获取真空环境的同时，也兼具对机械设备的密封、冷却以及润滑的功能。因为真空泵对真空泵油有着很高的要求，所以，真空泵油需同时具备多种性能才能满足设备的要求。

要实现正常生产，真空泵油应满足以下六点要求：

1.高闪点

真空泵中不能含有轻质组分，否则会影响真空泵油的饱和蒸汽压。

2.粘度和粘温特性

真空泵油应具有合适的粘度和粘温特性，因为真空泵腔内容积不断变化会形成排气作用。

3.极低的蒸气压

真空泵对真空度的要求很高，因此，真空泵油应具备极低的低气压。

4.低极限压力

极压限力是指在最低的真空极限压力下真空泵的极限压力，这是真空泵油的一项重要的使用性能指标。

5.抗腐蚀性和抗乳化性

真空泵工作时会吸入空气，若进入的空气具有腐蚀性，则腐蚀性空气将直接与真空泵油发生反应，继而对真空泵内部部件造成腐蚀;空气中常常带有水分，水分会直接导致真空泵油发生乳化，真空泵油乳化后便会腐蚀真空泵内金属部件。

6.热氧化安定性

真空泵的运行速度越来越高，真空泵内部件在旋转中容易产生高温，从而导致真空泵油温度升高，使其更容易发生氧化，油品质量下降，性能降低，导致真空泵运行效率下降。所以，真空泵油应具备良好的热氧化安定性。